400-677-0098
氧化鋁燒結(jié)爐
氧化鋁燒結(jié)爐
產(chǎn)品描述:
氧化鋁燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的氧化鋁陶瓷胚體和制品的氣氛燒結(jié)、真空燒結(jié)。
應(yīng)用范圍:
載盤、導(dǎo)軌和工件臺(tái)、機(jī)械臂、靜電吸盤、透明陶瓷、靶材等、高導(dǎo)熱基板、加熱器、結(jié)構(gòu)件。

氧化鋁燒結(jié)爐技術(shù)特征

采用特殊的爐膽結(jié)構(gòu)和加熱器布置,爐溫均勻性好;

具備柔性抽真空,真空燒結(jié)、微正壓燒結(jié)、分壓燒結(jié)等功能;

采用先進(jìn)的隔熱結(jié)構(gòu)和材料,爐膽隔熱性能好、蓄熱少,比傳統(tǒng)設(shè)計(jì)節(jié)能20%以上;

采用特殊的高溫紅外測(cè)量技術(shù),控溫準(zhǔn)確,誤差??;

適于工藝氣氛:N2/Ar/H2。

氧化鋁燒結(jié)爐產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)\型號(hào)HSO-040418HSO-050515HSO-060612HSO-060618VSO-0612VSO-0812VSO-1015
工作區(qū)尺寸 W×H×L(mm)400×400×1500600×600×12001000×800×13001000×800×2500φ600×1200φ800×1200φ1000×1500
最高溫度(℃)1500-20001500-20001500-20001500-20001500-20001500-20001500-2000
溫度均勻性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
極限真空度(Pa)10-4-10010-4-10010-4-10010-4-10010-4-10010-4-10010-4-100
壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.67

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

氧化鋁燒結(jié)爐配置選擇

爐門鎖緊方式:手動(dòng)/自動(dòng)

爐殼材質(zhì):全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì):碳?xì)?石墨氈/固化氈/陶瓷纖維氈/金屬

加熱器:金屬/石墨

熱電偶:C分度號(hào)(鎢套管/鉬套管/陶瓷套管)

紅外儀:?jiǎn)伪壬?雙比色

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